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科氏液體質量流量控制器

簡要描述：科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

  • 產品型號：5911D4
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2024-06-25
  • 訪  問  量：1571

詳細介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯應用領域環(huán)保,化工,能源,電子/電池

科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質量流量控制器5911D4主要技術指標

　　1

　　量程范圍

　?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM

　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM

　　2

　　準確度

　　±1%F.S ±0.5%F.S

　　3

　　線性

　　±0.5~1.5%F.S

　　4

　　重復精度

　　±0.2%F.S

　　5

　　響應時間

　　電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

　　6

　　工作壓差

　　0.1~0.5MPa

　　7

　　耐壓

　　3MPa

　　8

　　工作環(huán)境溫度

　　0~70℃

　　9

　　數字量

　　RS485 MODBUS協議

　　10

　　模擬量

　　DC 0~5V ，4~20mA 可選

　　11

　　供電

　　DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA

　　12

　　電氣連接

　　DB15

　　13

　　漏率

　　1×10\u001F-8SCCSH


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